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上海新阳取得一项专利能适应CoWP等金属环境对多种金属及电介质的缓蚀性强清洗效果
发布时间:2024-08-25 09:44 来源:网络

  k1体育金融界2024年8月24日消息,天眼查知识产权信息显示,上海新阳半导体材料股份有限公司取得一项名为“一种CoWP兼容性的半水基清洗液、其制备方法及应用“,授权公告号CN113430070B,申请日期为2020年3月。

  专利摘要显示,本发明公开了一种CoWP兼容性的半水基清洗液、其制备方法及应用。本发明的半水基清洗液由下述原料制得,所述的原料包括以下质量分数的组分:5%‑70%的溶剂、0.5%‑20%的醇胺、0.1%‑20%的季铵碱、0.1%‑15%的缓蚀剂、0.1%‑10%的钝化剂、0.01%‑20%的螯合剂、0.1%‑10%的两性表面活性剂、0.1%‑10%的非离子型表面活性剂和余量的水,所述的质量分数为各组分质量占原料的总质量的百分比。本发明的半水基清洗液能适应CoWP等金属环境,对多种金属及电介质的缓蚀性强,清洗效果佳。